洁净技术方向发展空气分子污染(airborne molecular contaminants,amc)作为ic工厂所关心的问题于20年前由---提出,近年来,ic技术发展迅速,ic芯片日益微型化。amc对当前的ic生产其潜在的污染比粒子污染要广泛多,粒子污染控制只需要确定粒径及个数,但对amc控制而言,除了受芯片线宽的缩小而变化外,并受工艺、工艺设备、工艺材料及传送系统等的影响。更有甚者用于某一工序的各种工艺材料(化学品、特种气体等)在很多情况下其微量的分子残余对下一工序往往可能就是污染物。因此,ic生产过程中的某些加工工序及工序间的材料传送和存放环境中,amc已成为---影响成品率的重要问题,天津净化工程,amc分子控制技术成为洁净工程设计与施工建设的主流趋势。目前,国内的洁净工程企业中已经开始从事此方向的研究,在该领域比较的企业有亚翔集成,在分子净化技术方面该公司已经走在了同行业的---,而电子工程设计院则在防微震方面。
洁净室的冷热源机组:杆式冷水机组螺杆式冷水机组是由螺杆式制冷压缩机、冷凝器、蒸发器、热力膨胀阀、油分离器、自控元件和仪表等组成的一个完整的制冷系统。常用的水冷式螺杆式冷水机组冷凝器进出水温分别设置为32℃、37℃,蒸发器出口冷冻水温度设置为7度,冷量范围为580~1163kw。离心式冷水机组离心式冷水机组是由离心式制冷压缩机、冷凝器、蒸发器、节流机构和调节机构以及各种控制元件组成的整体机组。离心式冷水机组的制冷量较大,常用的水冷式离心式冷水机组冷凝器进出水温分别设置为32℃、37℃,天津净化工程技术,蒸发器出口冷冻水温度设置为7度,天津净化工程,单机容量通常在1163kw以上,所以,离心式冷水机组一般用于大型中央空调系统。在洁净工程技术水平上,80年代末期,国外已大量建成0.1微米级的超净室,天津净化工程公司,1987年日本三洋新泻工场建成十级洁净厂房3000平方米,nit原木则建成了四个1000平方米控制0.1微米尘埃的千级厂房,换气次数---300次/分。美国在台湾的tsmcs新厂已建成---管道式洁净室总面积达10000平方米。
净化工程建设中需考虑从以下问题:1. 包装车间洁净室工程所需要的净化材料;2. 厂房洁净室及包装车间洁净室工程的设计、安装、调试、维护等综合服务;3. 包装车间洁净室工程空调净化部分温度和相对湿度无菌在无特殊规定时,通常要求温度在法规标准检测standard&testing18~28 c,湿度在 45%~65%,企业一般都可以控制在要求内。如在动态监测中发现达不到要求,可能是室内有产热大的仪器设备。
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